Renhetsgradering og sertifisering av tantaldigel med høy renhet
En tantaldigel med høy renhet er definert av renhet større enn eller lik 99,99 %, og eliminerer sporforurensninger for å møte strenge krav til behandling av ultra-sensitivt materiale.
Renhetsnivåer inkluderer 99,95% (kommersiell karakter), 99,98% (analytisk karakter) og 99,99% (elektronisk/atomkraftig karakter). Sertifisering via GDMS (glødeutladningsmassespektrometri) eller ICP-MS (induktivt koblet plasmamassespektrometri) verifiserer urenhetsnivåer: f.eks. har 99,99 % digler Fe mindre enn eller lik 5 ppm, Ni mindre enn eller lik 3 ppm, C mindre enn eller lik eller lik. Denne sporbarheten er kritisk for romfart (smeltende superlegeringer) eller halvleder (behandling av høy-k dielektrisk) applikasjoner.
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,95 % tantal-digler for elektronstrålefordamper, laboratoriebruk Ta-digel
Fremstillingsutfordringer for tantaldigel med høy renhet
Etter-fremstilling fjerner vakuumgløding (1500 grader, 10⁻⁵ Pa) absorberte gasser, noe som øker renheten ytterligere.
Ytelsesfordeler i kritiske applikasjoner
I halvlederepitaksi forhindrer 99,99 % digler dopingforurensning (f.eks. Fe endrer silisiums elektriske egenskaper). For kjernebrensel inneholder de uranoksidsmelter uten å introdusere nøytron-absorberende urenheter (f.eks. B, Cd). Deres lave utgassingsrate (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) also suits ultra-high-vacuum (UHV) systems, unlike lower-purity crucibles that release volatiles.
